Seto 1.60 Photochromic 렌즈 Shmc

1) 스핀 코팅이란 무엇입니까?

스핀 코팅은 평평한 기판에 균일 한 박막을 증착하는 데 사용되는 절차입니다. 일반적으로 소량의 코팅 재료는 기판의 중심에 적용되며, 이는 저속으로 회전하거나 전혀 회전하지 않습니다. 이어서, 기판은 원심력으로 코팅 재료를 전파하기 위해 최대 10,000 rpm의 속도로 회전시킨다. 스핀 코팅에 사용되는 기계를 스핀 코터 또는 간단히 스피너라고합니다.
필름의 원하는 두께가 달성 될 때까지 유체가 기판의 가장자리에서 벗겨지는 동안 회전이 계속된다. 적용된 용매는 일반적으로 휘발성이며 동시에 증발합니다. 회전의 각도 속도가 높을수록 필름이 얇아집니다. 필름의 두께는 또한 용액의 점도와 농도에 달려 있으며, 용매. [2] 스핀 코팅의 선구적인 이론적 분석은 Emslie et al.에 의해 수행되었으며, 많은 후속 저자 (Wilson et al., [4], 스핀 코팅에서의 확산 속도 및 Danglad-Flores et al., [5] 퇴적 된 필름 두께를 예측하기 위해 보편적 인 설명을 찾은 사람).
스핀 코팅은 졸-겔 전구체를 사용하여 유리 또는 단결정 기판상의 기능성 산화물 층의 미세 가공에 널리 사용되며, 여기서 나노 스케일 두께로 균일 한 박막을 생성하는데 사용될 수있다. [6] 그것은 약 1 마이크로 미터 두께의 포토 레지스트 층을 퇴적하기 위해 포토 리소그래피에서 집중적으로 사용됩니다. Photoresist는 일반적으로 30 초에서 60 초 동안 초당 20 ~ 80 회전으로 분사됩니다. 또한 폴리머로 만들어진 평면 사진 구조의 제조에 널리 사용됩니다.
코팅 박막을 회전시키는 한 가지 장점은 필름 두께의 균일 성입니다. 자기 속도로 인해 두께는 1%를 넘지 않습니다. 그러나, 스핀 코팅 폴리머 및 광자 주의자의 두꺼운 필름은 평면화에 물리적 한계가있는 비교적 큰 가장자리 비드를 초래할 수있다.