SETO 1.60 광변색 렌즈 SHMC

1) 스핀코팅이란?

스핀 코팅은 평평한 기판에 균일한 얇은 필름을 증착하는 데 사용되는 절차입니다.일반적으로 기판 중앙에 소량의 코팅 물질을 도포하는데, 이는 저속으로 회전하거나 전혀 회전하지 않습니다.그런 다음 기판을 최대 10,000rpm의 속도로 회전시켜 원심력에 의해 코팅 물질을 퍼뜨립니다.스핀 코팅에 사용되는 기계를 스핀 코터 또는 간단히 스피너라고 합니다.
원하는 필름 두께가 얻어질 때까지 유체가 기판 가장자리에서 회전하는 동안 회전이 계속됩니다.적용된 용매는 일반적으로 휘발성이며 동시에 증발합니다.회전 각속도가 높을수록 필름은 더 얇아집니다.필름의 두께는 용액의 점도와 농도, 그리고 용매에 따라 달라집니다.[2]스핀 코팅에 대한 선구적인 이론적 분석은 Emslie et al.에 의해 수행되었으며 스핀 코팅의 퍼짐 속도를 연구한 Wilson et al.[4] 및 Danglad-Flores et al.을 포함한 많은 후속 저자들에 의해 확장되었습니다. [5] 증착된 필름 두께를 예측하는 보편적인 설명을 찾았습니다.
스핀 코팅은 졸-겔 전구체를 사용하여 유리 또는 단결정 기판에 기능성 산화물 층을 미세 가공하는 데 널리 사용되며, 나노 규모 두께의 균일한 박막을 만드는 데 사용할 수 있습니다.[6]이는 약 1 마이크로미터 두께의 포토레지스트 층을 증착하기 위해 포토리소그래피에서 집중적으로 사용됩니다.포토레지스트는 일반적으로 30~60초 동안 초당 20~80회전으로 회전합니다.또한 고분자로 만들어진 평면 광자 구조의 제작에도 널리 사용됩니다.
스핀 코팅 박막의 한 가지 장점은 필름 두께의 균일성입니다.셀프 레벨링으로 인해 두께는 1% 이상 변하지 않습니다.그러나 폴리머와 포토레지스트의 두꺼운 필름을 스핀 코팅하면 평탄화에 물리적 한계가 있는 상대적으로 큰 가장자리 비드가 생성될 수 있습니다.